气体循环利用等降低环境负荷成本的技术取得新进步

栃木县小山市 -- (美国商业资讯) -- 光刻光源的主要生产厂商Gigaphoton株式会社（总公司地址：栃木县小山市，董事长兼总经理：都丸仁，网址：www.gigaphoton.com）发布了绿色革新的新路线图。在这里，绿色革新是指一项降低客户环境负荷的活动。该项目始于2003年。该公司充分利用在该项目中取得的成果和经验，达到了进一步降低使用成本的目的。

为了应对近年来业界所担忧的氖气和氦气的供给量减少与涨价、以及全球范围内的电力使用量急剧增加的课题，Gigaphoton积极地采用独自开发的EcoPhoton计划^（注提供了一系列绿色革新技术。2013年开发了一种通过用氮气代替氦气的方法将氦气使用量减少99%^*1的技术，2014年开发出了一种“eTGM”技术，通过该技术可以将氖气消耗量最多减少50%^*2。另外，该公司2015年开发出的“eGRYCOS”技术可以将激光放电效率提高20%，借助于这项技术，在保持激光性能的同时，能够降低15%的耗电量^*3。

在此次发布的新路线图中，以上技术得到了进一步的改进。针对氖气开发出了一种循环利用系统，利用该系统可以去除杂质，并使再生的氖气纯度达到与气缸供给的新鲜气体同等的水平。这样，可以使氖气的使用量接近于零。另外，该公司还针对氦气开发出了一种稳定性更高的技术，即使用氮气代替氦气也不会牺牲光学特性。在电力方面，在确立提高最新光刻工序所要求的激光的高功率的目标的同时，还计划在2020年之前开发出一种将耗电量减半的技术。

Gigaphoton董事长、总经理兼CEO都丸仁先生说：“本公司将推进建立环保型绿色工厂的绿色革新作为最重要的课题之一，积极地进行相关的技术研发，得到了越来越多客户的高度评价。为了向客户提供有用的技术和产品，我们今后仍将一如既往地更加努力。”

^*1～3本公司与以往相比的比例。

此前与eTGM相关的新闻稿
此前与无氦相关的新闻稿
此前与eGRYCOS相关的新闻稿

_（注
EcoPhoton™计划简介
EcoPhoton™计划是Gigaphoton2003年以来制定并实施的路线图，旨在提供一种环保型、符合用户需要的光刻光源。在该计划中，把激光的拥有成本（Cost of Ownership = CoO）分为3类，即：耗材所形成的成本（Cost of Consumable = CoC）、停机时间所形成的成本（Cost of Downtime=CoD）、以及环境负荷的成本（Cost of Environment = CoE），并对各类成本的主要成因进行详细分析，旨在提供运用新技术达到持续降低成本的目的。

Gigaphoton公司简介
Gigaphoton成立于2000年，是一家激光供应商，自成立以来不断为全球的半导体生产厂商提供有价值的解决方案。Gigaphoton时刻以客户为中心，从产品研发到生产、销售及维护，为用户提供业界最高水准的支持。更为详细的介绍请您访问：www.gigaphoton.com。

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